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在半导体工业长期发展的进程中，可以明显地看到无论技术发展或产品质量都与现场气相环境有紧密关系。经典的活性炭吸附器正因微电子行业的需要，于90年代后期改名变成了时髦的化学过滤器。本文将从微电子行业洁净室的空气质量标准为基点，介绍化学过滤器相关的技术，一些有代表性的过滤器以及一些新型化学过滤器的发展动向。同时介绍了过滤器评价等问题。望能对微电子行业空气净化事业的发展引起重视。