离子辅助淀积薄膜的性质

来源 :第五届全国光学薄膜学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sangyilin

【作者】

：

顾培夫陈宇明胡学群

【机构】

：

浙江大学

【出处】

：

第五届全国光学薄膜学术交流会

【发表日期】

：

1988年期

【关键词】

：

离子辅助淀积

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