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以乙酸锌为原料加水合成ZnO前驱液，采用自制的注射超声喷雾热分解方法在玻璃衬底上成功制备ZnO薄膜;通过正交试验选择液体注射速度、注射量、衬底温度、退火温度为实验要素;通过XRD、SEM、可见光透过率分析，优化制备条件为：液体注射速度为0.2ml／min、注射量3ml、衬底温度为450℃、退火温度500℃。制备的ZnO薄膜透光率达到85％。新的制备薄膜装置采用注射超声雾化手段，克服其雾化不均问题。