占空比对阴极电弧离子镀TiAlN涂层结构性能的影响研究

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TiAlN涂层具有良好的硬度、热硬性、耐磨性和抗氧化性能,作为刀具、模具和耐磨机械零件的耐磨涂层获得了广泛应用。阴极电弧离子镀是制备TiAlN涂层的常用物理气相沉积方法,通过优化其工艺参数进一步改善TiAlN涂层的结构及性能对TiAlN涂层的应用具有重要的实用价值。本文利用脉冲偏压阴极电弧离子镀制备了TiAlN涂层,研究了占空比对其表面形貌、相组成、显微硬度及摩擦磨损性能的影响,结果发现:随着占空比的增加,TiAlN涂层表面缺陷密度和表面粗糙度先减少后增加,当占空比为70%时,制备的TiAlN涂层表面缺陷密度和表面粗糙度最低。TiAlN涂层的硬度和耐磨性随占空比的增加表现出先增大后减小的趋势,占空比为50%时制备的TiAlN涂层硬度和耐磨性最高。TiAlN涂层与Si3N4球对磨时的主要磨损机制为黏着磨损和氧化磨损。
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