电子束熔炼时间对多晶硅杂质去除效果研究

来源 :第三届中国储能与动力电池及其关键材料学术研讨与技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:clxzzx
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采用电子束熔炼对98.8%的工业硅进行提纯,研究电子束熔炼参数的变化对各种杂质元素的去除效果,同时分析熔炼后杂质元素在硅锭上的分布状态。实验结果表明。电子束熔炼对硅中的主要杂质都有一定的去除效果,对P、Ca、Al效果较为明显,熔炼时间越长效果越好。
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