论文部分内容阅读
<正>在表面上,尤其是在硅表面上直接进行纳米尺度的结构加工或构筑各种复合的纳米结构对未来纳米器件的研究具有重要的意义。如何在硅表面直接进行纳米尺度的结构加工或在硅表面上直接构筑各种复合的纳米结构是目前研究的热点问题。本文结合SPM纳米加工、湿法化学刻蚀、化学气相沉积可控生长和自组装等技术,研究了如何在硅表面直接加工和构筑各种可控的纳米结构。主要内容如下: