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本文运用湿化学法处理与液相硅烷化相结合的方法,在单晶硅表面制备了端基为氰基的自组装膜,并进一步利用无机酸氧化法将氰基修饰为羧基,从而制备了端基为羧基的自组装膜。利用原子力显微镜、红外光谱和接触角测试手段,表征了端基为氰基和羧基的自组装膜的表面形貌和表面润湿性。制备的羧基自组装膜,高度有序规整且结构紧凑,为后续组装纳米粒子和构筑纳米结构提供了良好的模板。