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随着我国半导体工业集成电路(IC)业的快速发展,硅材料加工用金刚石工具具有巨大的潜在市场。简介了半导体加工中使用的各种金刚石工具,其中包括:单晶硅晶锭的裁切与整圆、晶圆线切割、倒圆磨边、磨削、CMP修整器、背面减薄与划片及其最新发展。建议应积极研发我国半导体工业硅材料加工用金刚石工具。
积极研发半导体工业硅材料加工用金刚石工具
【摘 要】
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随着我国半导体工业集成电路(IC)业的快速发展,硅材料加工用金刚石工具具有巨大的潜在市场。简介了半导体加工中使用的各种金刚石工具,其中包括:单晶硅晶锭的裁切与整圆、晶
【机 构】
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湖南省金刚石勘查研究院长沙410010
【出 处】
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2007年中国超硬材料行业技术发展论坛
【发表日期】
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2007年10期
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