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洁净厂房中各种环境参数(洁净度,温/湿度,风量,风速,压差等)对半导体,制药,电子等行业的工艺有着至观重要的作用.直接影响产品的质量.本文对洁净厂房的一般测试要求进行总体介绍,同时介绍环境实时监测系统对洁净厂房进行监测.
洁净厂房的检测
【摘 要】
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洁净厂房中各种环境参数(洁净度,温/湿度,风量,风速,压差等)对半导体,制药,电子等行业的工艺有着至观重要的作用.直接影响产品的质量.本文对洁净厂房的一般测试要求进行总体
【机 构】
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天津大学建筑工程学院
【出 处】
：
2001全国室内空气净化工程与技术发展研讨会
【发表日期】
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2001年6期
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