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中物院十所以太赫兹高速数据通信、太赫兹高分辨率雷达、太赫兹安检仪和太赫兹生物效应为需求牵引,开展了0.14THz/0.22THz/0.34THz折叠波导行波管、0.14THz/0.22THz折叠波导振荡器、0.22THz/0.34THz扩展互作用速调管等太赫兹电真空器件的研究工作;以生物效应为需求牵引,开展近太赫兹基波回旋管、谐波回旋管和扩展互作用速调管的研究工作。本为主要介绍我所在以上电真空器件方面的最新研究进展。