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该文介绍了用于MEMS工艺中的双层胶两次曝光的剥离技术研究，并通过实验数据对比，说明了双层胶两次曝光工艺对剥离效果的改进，同时还分析了采用不同淀积设备和不同金属材料对剥离效果的影响。
用于MEMS工艺的两次曝光剥离技术
【摘 要】
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该文介绍了用于MEMS工艺中的双层胶两次曝光的剥离技术研究，并通过实验数据对比，说明了双层胶两次曝光工艺对剥离效果的改进，同时还分析了采用不同淀积设备和不同金属材料对剥离
【机 构】
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大学微电子学研究所
【出 处】
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中国电子学会'98敏感技术学术年会
【发表日期】
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1998年期
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