TFT-LCD光刻工艺掩膜板耐Particle研究

来源 :2014中国平板显示学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dhlwcg
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在TFT-LCD生产过程中,重复性缺陷是光刻工艺中最常出现的一类不良,它的特点是不良在显示屏上位置固定,重复出现的规律性明显.在对该不良多年的跟踪研究过程中发现,个别尺寸产品在生产中发生概率较为频繁;本文首先介绍了光刻工艺和掩膜板(Mask)的构造,之后使用Canon MPA7800镜像投影对位曝光机为实验设备,对掩膜板耐Particle性能进行了深入分析与探讨,得出耐Particle的影响因素为曝光剂量,并且量化了曝光计量与耐Particle性能指标的数值关系.
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