二次离子质谱仪(SIMS)具有检测灵敏度高,稳定性好,能分析元素周期表中包括氢元素在内的所有元素,也可以对微量杂质元素进行定量.在SIMS元素定量中相对灵敏度因子(RSF)起着十分重要的作用,RSF好的稳定性将为SIMS操作者在改变参数设置的情况下节省测试标样的时间.RSF的大小与基体元素和掺杂元素的二次离子强度有关，而CA的大小与二次离子强度有密切关系，Jan Lorincik认为当CA的直径为150-50μm时，通过CA的传输率保持TCAocDcAq，q=2，当CA=400-150μm时，对于不同的表面键能的材料q值不一样，光束不均匀。本实验采用Cs源溅射GaN基体led外延片试样，研究分析改变分析参数CA（对比光阑）对RSF稳定性的影响，通过实验表明(l)同种元素CsGa，Ga，Ga2的二次离子强度随CA大小变化强度比值基本相同；(2) CsGa、CsN二次离子强度随CA在50-150μm范围内变化比值相同，在150-400μm范围内变化比值不同；(3)当CA在50-150μm时，RSF相差2％，当CA为50-400μm时，RSF相差129%。