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基于谐振腔微扰理论，利用高频仿真软件HFSS、微扰法的介电常数计算公式，分析了样品尺寸的增大在大小2个谐振腔中对介电常数测试误差的不同影响以及介电常数实部和损耗角正切的增大对测试误差的影响。结果表明，单一地用样品的体积是否远小于腔体体积来判断测量是否满足微扰近似的成立条件是不舍理的，应该考虑样品中波长与样品尺寸的关系。