【摘 要】
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基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台.电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用
【机 构】
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中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室,北京100190
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台.电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法,氦罩法是对总漏率进行测定,而总漏率超出允许值后用喷吹法进行漏孔的准确定位.双回路复杂结构和复杂串联漏孔的定位,表明了氦质谱喷吹法在电真空器件检漏中的影响因素必须遵循的喷吹检漏原则.同时,温度、临时密封材料(酒精、真空封泥、橡胶件)和设备材料吸附等因素会带来一定的测量误差.
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