随着MEMS技术的发展,有限元分析越来越不能适应复杂器件设计的要求,系统级的模拟和分析对器件的设计与优化起着越来越重要的作用。为了缩短设计周期、降低设计成本,迫切需要诞生新的MEMSCAD工具。本文提出了一种基于节点法利等效电路模型库的MEMS系统级设计软件,该软件具备IC设计的一致性描述和一致性仿真,并且具有优秀的可扩充性。围绕主要工作首先构建了软件架构,建立了框架管理系统,进而实现各功能模块的封装和管理。具体模块包括：版图解释模块,三维结构生成和处理模块,节点单元划分模块,网表模块,动态接口模块等。 ⑴完成了标准版图CIF格式的解释,在程序中再现MEMS器件,结合加工艺流程与参数的设置,实现了从2D版图到3D立体结构的转换。提出了一种基于基于节点法和等效电路模型的网表结构体系,该体系包括初始网表、最终网表和网表转换规则描述,可以实现对器件单元库中的现有器件和未知的扩充器什进行SPICE仿真。论文实现了动态接口模块,该模块可以实现对第三方软件的动态扩展。 ⑵详细介绍了版图解析模块、三维结构生成和处理模块、节点单元划分模块、网表模块、动态接口模块等的原理和实现。并通过MEMS器件实例介绍了软件的设计和仿真过程。 ⑶作为对一个应用型软件的设计与实现,文中还对MFC库,相关数据结构、API绘图函数、OpenGL函数库等进行了介绍。采用MFC实现软件,用OpenGL绘制了3D图像。