Bimorph结构MEMS微镜热驱动性能分析研究

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【摘要】

：

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)是融合机、光、电、磁等领域技术为一体,将常规集成电路工艺与微机械加工独有特殊工艺相结合的一种前沿技术。其具有能耗低、、体积小、集成度高、灵敏度高和价格低廉等特点,广泛应用于生物医疗、汽车工业、军事国防、航空航天等领域。电热型MEMS微镜,是一种利用微执行器驱动微反射镜面运动及偏转,以实现调整入射光空间分布的光调

【作者】

：

刘骏文

【机构】

：

苏州大学

【发表日期】

：

2015年04期

【关键词】

：

Bimorph结构 MEMS微镜热驱动性能分析

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