论文部分内容阅读
大口径长焦球面透镜作为激光驱动装置中的重要光学元件,起到光路准直、空间滤波及能量传输等作用,而焦距是其关键性能参数之一,该参数的高精度测量一直是光学测量领域的研究热点。本文利用二元衍射光学元件类凸面反射镜的特性,建立了基于反射式菲涅尔波带全息片的焦距测量理论方法,结合激光驱动装置建设的实际需求,确定了在波面误差测量光路基础上构建焦距测量系统的设计方针与低成本高精度的设计思路。围绕以波带片为核心的补偿型零位干涉长焦距测量方法理论模型,研究了菲涅尔衍射基础理论,给出了波带片等效曲率半径与波带半径的理论计