本文根据“二元光学激光直接写入设备”课题的需要，对一种纳米分辨力微位移机构进行了研究。 通过查阅大量相关文献资料，提出了以压电陶瓷驱动器作为驱动元件，以柔性铰链作为导向元件的微位移调焦机构设计方案。 文中对微位移机构的基本组成和压电陶瓷驱动器基本理论的论述，阐述了层叠型压电陶瓷驱动器的工作原理、柔性铰链的工作原理，并对柔性铰链的转角刚度公式进行了推导，并编制了相应的计算程序，通过计算柔性铰链不同R和T的转角刚度，对柔性铰链的性能进行了分析。进行了微位移机构的设计，对微位移机构的整体结构进行了分析以及微位移机构的性能参数计算。同时对微位移机构进行了设计制作及测试，对测试结果进行了分析。最后得出了结论。 本文对微位移机构进行了理论分析和设计，推导并计算了微位移机构的刚度和固有频率，并对微位移机构进行了刚度校核和应力校核。介绍了制造微位移机构的工艺方案及其加工方法，完成了所设计的微位移机构的制作，并对其进行了位移-电压特性、定位特性和位移分辨力等主要性能指标的测试和分析。