论文部分内容阅读
蓝宝石晶体具有优异的机械性能、光学性能和热稳定性,尤其高温条件下性能稳定,其应用范围涉及航空航天、国防和民用工业、电子行业等诸多领域。目前,对蓝宝石晶体的研究侧重于采用泡生法生长大尺寸的单晶。而生长的蓝宝石晶体优劣主要取决于泡生法晶体生长设备的温度场结构。 本文在35kg泡生法蓝宝石晶体生长设备、LZ80-90A设备以及对节能型单晶炉设备的研究成果的基础上,结合炉体设备设计的经验,从泡生法生长原理着手,对90公斤级泡生法生长蓝宝石晶体的温度场部分进行结构设计,完成了零部件设计和温度场三维模型装配。依据晶体生长原理和传热学原理,建立了晶体生长的物理、数学模型和生长环境的边界条件。 本文基于workbench中热分析模块(steady-state thermal)对设计的90公斤级单晶炉温度场进行分析。分别研究了晶体生长等径初期阶段上、下、侧保温屏以及加热体与坩埚位置变化对固液界面附近轴向、径向温度梯度的影响。分析结果显示,轴向、径向温度梯度的峰值均在温度场内部固液界面处产生,但随着各组件位置的变化,温度梯度的峰值大小和固液界面位置会产生变化,其中影响程度较大的为加热体。通过影响曲线调整上、下、侧保温屏和加热体的位置继而分析轴向、径向温度梯度变化,最终得到了适合晶体生长的温度场结构。