本研究以低浓度磷化氢气体为研究对象，在充分分析研究了以往的各种治理方法以后，提出了采用液相催化氧化法净化PH₃的新方法，确定了一条以Cu²⁺为主催化剂、磷酸铵为助催化剂的较为简明的催化氧化净化路线，并进行了实验条件的优化及失效吸收液的再生。得到如下实验结果：（1）对PH₃浓度在1275～1300mg／m³之间，氧含量在21％的PH₃尾气，Zn²⁺、Mn²⁺、Fe³⁺、Cu²⁺四种金属离子在液相下对PH₃具有催化氧化作用，PH值越高，溶液的净化效果越好，四种金属离子的催化性能大小顺序为：Cu²⁺＞Fe³⁺＞Zn²⁺＞Mn²⁺，其中Cu²⁺催化性能较明显，选择净化性能相对最好的Cu²⁺作为吸收液主催化剂，并且随着吸收液中Cu²⁺浓度的增加，吸收效率增大，当Cu²⁺浓度增加到0.15mol／L时，吸收效率的增长趋势趋于平缓。（2）在以Cu²⁺为主催化剂的吸收液中，采用柠檬酸、EDTA、乙二胺、磷酸铵四种不同的Cu²⁺络合剂时对PH₃的净化性能的影响不同。在碱性条件下，磷酸铵与Cu²⁺络合对Cu²⁺催化活性的发挥表现出了相对最积极的作用。因此，选择磷酸铵为以Cu²⁺为主催化剂的吸收液的助催化剂；（3）反应温度由25℃升高到65℃，吸收效率增加，当温度升高到85℃时，吸收效率出现下降趋势，综合考虑后认为温度控制在65℃～75℃之间较为合适；随着气体流量的增加，吸收液的净化效率随之降低，而且吸收液维持较高吸收效率的时间也相应缩短，适宜的气体流速为0.3L／min；当气体流量一定时，随着原料气中PH₃浓度的增大，溶液的净化效率呈不明显的递减趋势，当原料气中PH₃浓度＜1556.5mg／L时，净化效率都可维持在85％以上；吸收液pH值在8～11之间，吸收效率比较稳定，可维持在85％左右，随着pH=8变化到pH=7，吸收效率有明显的下降；同时，随着PH值的降低，吸收液维持较高净化效率的时间相应缩短。选择碳酸钠作为缓冲溶液调节吸收液pH值到10，溶液可达到较好的净化效果；氧含量对PH₃的净化有比较明显的影响，随着氧含量的增加，吸收液的净化效率增加，当原料气中氧含量从0.5％增加到10％时，净化效率增幅相对较小，只有5％；而从10％增加到21％时，净化效率增幅相对较大，为10％。实际操作中，当尾气的氧含量较低，影响净化效率时，可通过鼓氧来提高净化效率。（4）适宜的实验条件为：吸收温度为65℃；气体流量为0.3L／min；氧含量为21％；催化剂浓度为0.15mol／L；稳定剂浓度为0.15mol／L；起始pH=10。在此适宜的实验条件下，吸收液起始净化效率可达89.5％，吸收液基本达到饱和时磷容量为4.5gPH₃／L吸收液。当吸收液磷容量达到基本饱和时，可通过先通入NH₃中和吸收液中磷酸，再通入空气氧化Cu⁺为Cu²⁺的方法对失效吸收液进行再生，方法简单，再生后的吸收液起始净化效率相对于原溶液有所降低，但仍能达到80％以上，再生液的净化效果可得到较好的恢复。