LaB6纳米材料在紫外和近红外波段具有特定的选择性吸收作用,在光学和隔热材料领域具有巨大的应用前景,这一特殊性能使其成为时下研究的热点。ITO是目前已知的性能最好的隔热透明材料,在太阳能电池和柔性透明导电薄膜领域,具有极其广泛的应用。本文结合两者优势,通过磁控溅射法制备了LaB6与ITO复合薄膜,对LaB6在柔性透明导电薄膜领域的应用进行了初步探索。研究了等离子体预处理对基底的影响,探索了薄膜的最佳制备时间,并对其组织结构、光学性能以及电学性能的相关性进行了深入分析。等离子体预处理结果表明,PET为最佳的柔性透明基底,当放电电压为70V,放电电流为0.15A,束流电压为0.9KV,束流电流为12mA,加速电压为120V时,随着预处理时间的延长,光学性能、润湿性、表面粗糙度以及表面高度等性能均为先减小后增大,当预处理时间为60s时,PET基底具有最高的透光率以及最小的表面粗糙度和最优的表面润湿性。通过FESEM、AFM等设备,研究了薄膜的生长机制,结果发现不同薄膜之间的结合比较紧密,其结合强度要远大于薄膜与基底之间的结合强度。随着薄膜层数的增加,表面粗糙度会相应增加,但变化幅度较小,而表面高度则有明显增加。当ITO/LaB6/ITO薄膜的溅射时间分别为6min、8min和6min时,薄膜具有最优的微观组织性能。薄膜的光学性能结果表明,当薄膜层数相同时,随着各层薄膜厚度增加,薄膜透过率降低；当薄膜整体厚度相同时,随着薄膜层数的增加,薄膜透过率增加。电学性能表明,随着薄膜层数的增加,薄膜的方阻显著降低,降幅最高可达60%以上；载流子浓度大幅增加,最高可至原来的4倍；迁移率变化程度较小,基本不变。随着薄膜层数的增加,薄膜灵敏值逐渐增加,并且ITO/LaB6/ITO三层薄膜灵敏值远大于ITO/LaB6双层薄膜,最佳溅射时间为6/8/6 min。