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射频MEMS单刀多掷开关设计及加工关键技术研究
【摘 要】
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射频MEMS开关是应用在无线通信领域,控制电磁波传输的关键器件之一,具有损耗低、体积小、成本低、可靠性高等特点。可与MEMS天线、MEMS滤波器、MEMS衰减器、MEMS移相器等构成可调射频MEMS器件,在减小器件尺寸的同时,实现多功能的应用。也可使用多个MEMS开关集成矩阵开关,实现多通道信号的同时传输,增强信息传输能力。本论文提出了射频MEMS单刀多掷开关的设计,主要就常见的单刀双掷开关、单刀
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
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