【摘 要】
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本课题来源于国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2011CB707602)；NSFC-广东联合基金重点项目(U0934004)；国家自然科学基金项目(50975136，51275229)。为了提高我国的工业制造水平，特别是在精密零件设备方面的制造水平，一种基于直线超声电机的精密定位平台越来越展现出其重要性。区别于传统的电磁式电机，直线超声电机的原理来自于压电陶瓷材料的逆压电效应，它不需要转
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本课题来源于国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2011CB707602)；NSFC-广东联合基金重点项目(U0934004)；国家自然科学基金项目(50975136，51275229)。为了提高我国的工业制造水平，特别是在精密零件设备方面的制造水平，一种基于直线超声电机的精密定位平台越来越展现出其重要性。区别于传统的电磁式电机，直线超声电机的原理来自于压电陶瓷材料的逆压电效应，它不需要转换机构就能产生直线运动、具有结构简单、响应快、断电自锁和分辨率高等优点。因此，可替代原有电磁电机
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