光刻胶的表面粗糙程度对光刻分辨率增强有非常重要的影响,而量子点荧光由于其光致发光特性非常有可能利用在改善光刻胶图案的表面粗糙程度。本文采用碘化铯量子点荧光来增强紫外光刻及X射线光刻。向紫外正型光刻胶中加入碘化铯荧光量子点,分析对比改善前后的光刻胶的热稳定性,光吸收、光透射、光反射特性,黏度,密度以及红外特性。发现添加碘化铯荧光量子点的光刻胶对紫外光的吸收增加2.5倍,对紫外光的透射率减少到初始光刻胶的30%,对紫外光的反射更加微弱和稳定,光学特性更加优异。并且加入的量子点并不对光刻胶内部基团和光刻胶体系造成破坏。与此同时,复合碘化铯荧光量子点的光刻胶光刻的图案边缘更加平滑,边缘粗糙度更小,有利于提高光刻胶的分辨率。经复合碘化铯荧光量子点的光刻胶通过量子点荧光使得到更多的曝光量,减少基底表面的反射与干涉,以及增加光刻的景深,从而增强光刻效果。最后对添加碘化铯荧光量子点的光刻胶的内部光强分布做了一个估计,正是由于碘化铯荧光量子点的存在,使光刻胶内部光强分布趋于稳定平衡,使得复合后的光刻胶能提高光刻分辨率。这种改善光刻分辨率的方法易行简单,对未来的纳米光刻非常具有参考意义。