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将纳米颗粒引入电沉积合金镀层中,赋予镀层以纳米颗粒独特的物理及化学性能的纳米复合电沉积技术,开辟了制备纳米复合材料的新途径,是纳米材料技术与复合电沉积技术的完美结合,是复合电沉积技术发展进程中一次质的飞跃,同时也是纳米材料研究领域中极具活力的研究方向之一。随着微机电系统(MEMS)技术的发展,磁性MEMS传感器、执行器对材料磁性的要求越来越高。采用复合电沉积技术,通过在已有的磁性合金镀层工艺中引入强磁性粒子以增强镀层的磁性成为近年来研究的热点。本文开展了复合电沉积CoNiMn