中温烧结镁钛硅系介质陶瓷的研究

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本文系统研究了Mg2(Si,Ti)O4基低介陶瓷的介电性能,这类材料可作为基板材料应用到电子电路中。如何在不降低其介电性能的前提下,通过添加助融剂,降低烧结温度是本文研究的重点。本文采用高温熔融法和溶胶-凝胶法制备两种玻璃粉料,作为烧结助剂分别添加到Mg2(Si1-xTix)O4体系中,均使烧结温度下降。通过讨论玻璃和低熔点氧化铋的添加量以及B位Si/Ti比对该体系的微观形貌和介电性能的影响,揭示了一些改性的基本规律,得到了中温烧结、介电性能优良的Mg2(Si,Ti)O4基陶瓷。本文还对基体材料的合成路线进行改进,最佳工艺为:1200℃煅烧2h预合成前驱体Mg2SiO4、Mg2TiO4,再二次配料合成Mg2(Si1-xTix)O4。在Mg2(Si1-xTix)O4(x=0.05、0.1、0.15、0.2)基料中,掺入2wt%的用高温熔融法制得的玻璃,于1200℃烧结2h,所得样品的介电损耗均在0.000120.0002范围内,且随着B位Ti对Si的取代量的增加,Mg2(Si1-xTix)O4陶瓷介电常数(ε)增大,介电常数温度系数(αε)向负值增长,当Ti取代量x=0.1时,1MHz下测得样品的介电性能最佳:ε=14.2,tanδ=1.2×10-4,αε=1.7×10-6/℃,ρv=4.2×1015Ω·cm;掺入2wt%的用溶胶-凝胶法制得的玻璃粉料,随着后续热处理温度的升高,粉料的活性增大,陶瓷体的致密度也随之提高;掺入2wt%的低熔点氧化物-氧化铋,随保温时间的增加(≤6h),损耗(tanδ)减小,但当保温时间增至8h时,损耗(tanδ)再次增加,于1280℃烧结6h,所得样品的介电性能最佳:ε=14.6,tanδ=3.6×10-4,αε=9. 9×10-6/℃,ρv= 3.1×1015Ω·cm。
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