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本论文对快速热扩散炉(RTD Furnace)的设计、制造进行了详细描述,研制出了RTD炉样机。通过调试此设备获得了它的升降温曲线和温控PID参数。实验研究了快速热扩散(RTD):通过旋涂磷胶和印刷磷浆两种方式考查了2×4和103×103单晶硅的快速热扩散特性,发现:1)此样机的温度场在空间分布上是均匀的;2)快速热扩散可以比传统扩散快3倍的速度进行扩散;3)在扩散温度和掺杂磷源相同的条件下,与传统扩散相比,快速热扩散将杂质向结更深的地方推进。这些技术和实验结果在国内未见报道。 本论文采用HF和HNO3为腐蚀液,在不同温度、添加剂和超声振荡3种情况下来进行研究多晶硅酸腐蚀表面织构化。实验研究发现:通过超声振荡,在单位面积上腐蚀坑密度较大。在1min、HF:HNO3=12:1的腐蚀条件下,25℃时加Br2用超声振荡的方式得到的腐蚀效果好。腐蚀坑比较均匀、光滑,单位面积腐蚀坑较多,而且呈收缩型,这将有利于入射光的多次反射,获得较好的表面减反射效果。本研究在国内外未见报道过。