本论文对快速热扩散炉（RTD Furnace）的设计、制造进行了详细描述，研制出了RTD炉样机。通过调试此设备获得了它的升降温曲线和温控PID参数。实验研究了快速热扩散（RTD）：通过旋涂磷胶和印刷磷浆两种方式考查了2×4和103×103单晶硅的快速热扩散特性，发现：1)此样机的温度场在空间分布上是均匀的；2)快速热扩散可以比传统扩散快3倍的速度进行扩散；3)在扩散温度和掺杂磷源相同的条件下，与传统扩散相比，快速热扩散将杂质向结更深的地方推进。这些技术和实验结果在国内未见报道。 本论文采用HF和HNO₃为腐蚀液，在不同温度、添加剂和超声振荡3种情况下来进行研究多晶硅酸腐蚀表面织构化。实验研究发现：通过超声振荡，在单位面积上腐蚀坑密度较大。在1min、HF：HNO₃=12：1的腐蚀条件下，25℃时加Br₂用超声振荡的方式得到的腐蚀效果好。腐蚀坑比较均匀、光滑，单位面积腐蚀坑较多，而且呈收缩型，这将有利于入射光的多次反射，获得较好的表面减反射效果。本研究在国内外未见报道过。