低熔点铋酸盐封接玻璃的研究

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随着现代微电子技术与光电子技术的迅猛发展,以及器件小型化与元件精密化对封接制品气密性与可靠性的更高要求,特别是环保呼声的日益高涨,人们对封接玻璃提出了更为严厉的要求。本文以Bi2O3-B2O3-ZnO系玻璃为基础玻璃,以β-锂霞石微晶玻璃和磷酸锆钠为填料,制备了性能优越的复合玻璃,通过应用差热-失重分析仪、热膨胀分析仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、傅里叶红外光谱仪等实验手段对基础玻璃、填料和复合玻璃的结构和性能进行了表征。(1)成功制备了Bi2O3-B2O3-ZnO、Bi2O3-B2O3-SiO2、Bi2O3-BaO-SiO2-RxOy(RxOy为K2O、Na2O、CaO或Al2O3中的一种或几种)三个体系的铋酸盐玻璃,研究了Bi2O3含量变化、B2O3含量变化、ZnO含量变化、等量不同类碱土金属氧化物、等量不同类类金属氧化物对Bi2O3-B2O3-ZnO系玻璃结构与性能的影响;研究了SiO2含量变化对Bi2O3-B2O3-SiO2系玻璃结构与性能的影响;研究了TiO2含量变化对Bi2O3-BaO-SiO2-RxOy系玻璃结构与性能的影响。结果发现Bi2O3-B2O3-ZnO系玻璃适用范围最广,因此选择其作为基础玻璃体系。(2)成功制备了颗粒较为均匀,分散性较好,平均粒径为5μm左右的β-锂霞石微晶玻璃粉体;成功合成了分散性较好,团聚较少,平均粒径为100nm左右的磷酸锆钠粉体。(3)在Bi2O3-B2O3-ZnO系基础玻璃中,随着β-锂霞石微晶玻璃和磷酸锆钠掺杂比例的增加,复合玻璃的膨胀系数明显降低,而玻璃转变温度、软化温度和使用温度则有一定幅度升高,流动性变差,强度提高。(4)完成对封接工艺路线的设计,研究了使用不同方法制备玻璃坯所产生的封接效果。
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