微放电通道的径向扩展与放电均匀性的研究

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介质阻挡放电(DBD)能产生非热平衡等离子体。目前,其已被广泛应用于绝缘材料表面改性、杀菌消毒、CO2激光器、等离子体显示面板和臭氧合成等工业领域。本文通过均匀DBD的粒子模拟计算和DBD径向扩展性的实验研究,研究DBD径向扩展性与放电均匀性。首先,建立了粒子模拟计算的简化模型,模拟计算了单一气隙中电子崩发展过程。结果表明,要在空气大气压下产生均匀放电,需要减缓电子崩的发展过程,抑制流注的形成;空间电荷对崩头附近不同区域的电场有较强的削弱或加强作用;初始并行发展的2个电子崩间相距大于400μ
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