【摘 要】
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面心立方结构的δ-TaNx材料因其优越的物理、化学及机械性能(如高硬度、耐磨、化学惰性、热稳定性以及低的电阻温度系数),现已在耐磨涂层、薄膜电阻以及集成电路中的扩散势垒等领域得到了广泛应用。另外,δ-TaNx薄膜又具有较高的超导转变温度(6-10.5 K)、较小的超导带隙(~1.24 meV)及低的费米面态密度等特点,因而在下一代超导纳米线单光子探测器、金属-绝缘体-超导体隧道结器件等领域有着潜在
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面心立方结构的δ-TaNx材料因其优越的物理、化学及机械性能(如高硬度、耐磨、化学惰性、热稳定性以及低的电阻温度系数),现已在耐磨涂层、薄膜电阻以及集成电路中的扩散势垒等领域得到了广泛应用。另外,δ-TaNx薄膜又具有较高的超导转变温度(6-10.5 K)、较小的超导带隙(~1.24 meV)及低的费米面态密度等特点,因而在下一代超导纳米线单光子探测器、金属-绝缘体-超导体隧道结器件等领域有着潜在的应用前景。本论文通过射频磁控溅射的方法,采用TaN靶,在石英玻璃基底上成功制备了系列面心立方结构的多晶
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