MCM微波滤波器研究

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MCM具有高密度集成、多层布线、高频性能优异等优点,是日前实现电子系统小/微型化的重要手段,广泛应用于雷达、通信、电子战、仪器设备等军/民用领域。MCM之所以受到各经济发达国家高度重视并争先恐后千方百计加速发展,主要在于它有一系列优点,既提高了密度,又缩短了芯片的互连间距,可使芯片之间互连度大大缩短,是电磁场与微波技术领域的主流和前沿课题,具有极高的理论研究和工程应用价值。本文采用基于耦合系数矩阵的滤波器设计方法,计算出了所设计滤波器的耦合系数矩阵,然后结合电磁仿真软件HFSS设计了四腔带通滤波器、开路端耦合滤波器、发卡线滤波器、四腔开环滤波器、缺陷地结构滤波器、容性加载滤波器六种MCM滤波器结构,分析了滤波器优化的一般规律。本文所设计的滤波器所用材料为R04350B,所用工艺为MCM-L。MCM滤波器的尺寸有所缩小。四腔带通滤波器通带内达到了S11<-10dB,发卡线滤波器通带内达到了S11<-15dB,开路端滤波器通带内达到了S11<-20dB,四腔开环滤波器通带内达到了S11<-15dB。
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