【摘 要】
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该文采用直流反应磁控溅射的方法摸索了单层Ti和TiN薄膜的制备工艺,并在此基础上制备了Ti/TiN多层膜.利用X光衍射分析(XRD),透射电子显微镜(TEM),卢瑟福背散射谱(RBS)等手段
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该文采用直流反应磁控溅射的方法摸索了单层Ti和TiN薄膜的制备工艺,并在此基础上制备了Ti/TiN多层膜.利用X光衍射分析(XRD),透射电子显微镜(TEM),卢瑟福背散射谱(RBS)等手段对薄膜样品进行微观结构分析,表明Ti/TiN多层膜是具有织构的多晶组织,具有良好的周期性.利用纳为压痕方法测量了Ti/TiN多层膜的硬度.
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