在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上建立了一套高分辨的弹性反冲探测分析系统。该系统用高质量的重离子束轰击薄膜或块材靶样品，利用Q3D磁谱仪及其焦面探测器和纵向型双电离室ΔE—E望远镜探测器两套探测系统，在前角区测量了靶中各种元素的反冲能谱。利用卢瑟福散射截面和离子在靶材料中的阻止本领，编制程序将能谱转换成元素的深度分布。从而实现高精度的深度分辨测量。 利用该系统，对薄膜和多层材料进行元素成分深度分析结果表明，在从轻元素H到中重元素Ga的很大范围内，得到纳米级的深度分辨谱。用100MeV的127I束对C/LiF多层样品分析结果表明，表面分辩达到了1.2纳米。用ΔE—E望远镜探测器同时地得到靶材料上从轻至中重各种元素的深度分布，其深度分辨达20～30nm。应用以上技术测量了C/LiF多层膜、GaN膜和LaBaCuO超导膜等多种样品的成分及杂质的深度分布。 其中设计制作了一套双电离室纵向型ΔE—E型望远镜系统，克服了横向型电离室结构复杂和探测立体角较小的弊病，电离室能量分辨达3.3％(对50.3MeV12C)。利用该系统对多种样品进行了成份分析，可同时得到了样品中多种元素的深度分布谱。它可单独作ERD分析，也可配合Q3D磁谱仪进行ERD分析，获得高精度的元素深度分布谱，也可用于其它核物理实验中。