减反膜作为光学薄膜的重要组成部分,广泛的应用于光学系统和光学器件中。在一些特殊环境中对减反膜提出了更高的要求,不再满足于单纯某一波段的减反。例如飞机驾驶室中需要减少仪表表面不必要的反射对人眼的不利影响,这就需要在一定入射角范围内,减反膜均具有优良的宽波段减反效果。本文设计并优化了0-50°、400nm-700nm波段的大角度减反膜系,采用PECVD技术进行了薄膜制备,探讨了制备误差,探索研究了51°-80°、400nm-700nm波段平均反射率小于5%的大角度减反膜设计的可行性。得到的主要结论如下：1)使用Needle法、傅里叶变换法、非均匀法设计了5种0-50°、400nm-700nm波段的大角度减反膜系。5种膜系结构在50°、400nm-700nm波段的平均反射率分别为1.07%、0.96%、1.00%、0.88%、0.76%。2)采用PECVD技术制备了0-50°、400nm-700nm波段的大角度减反膜,在50°、400nm-700nm波段的平均反射率为1.3%。仿真分析可知膜层的膜厚误差是实测曲线与理论曲线产生偏差的主要原因。3)结合Needle法、随机优化、非均匀法探索了0-80°、400nm-700nm波段平均反射率小于5%的大角度减反膜设计的可行性。探索研究可知低折射率材料是制约大角度减反膜减反特性的主要因素,只有当可用低折射率材料折射率达到1.05时,0-80°、400nm-700nm波段平均反射率小于5%的大角度减反膜设计才是可行的。