【摘 要】
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FeCoSiB薄膜由于具有优良的磁弹性能而受到了人们的广泛关注.本文针对FeCoSiB薄膜材料的应力敏感特性,从理论和实验上研究了FeCoSiB薄膜材料的应力阻抗效应,并研究了FeCoSiB
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FeCoSiB薄膜由于具有优良的磁弹性能而受到了人们的广泛关注.本文针对FeCoSiB薄膜材料的应力敏感特性,从理论和实验上研究了FeCoSiB薄膜材料的应力阻抗效应,并研究了FeCoSiB薄膜在磁场可调平面薄膜电感中的应用.理论上,本文从Landau-Lifshitz-Gilbert方程和Maxwell方程出发,推导了磁弹性薄膜在外加应力下高频有效磁导率和阻抗的表达式,计算了不同参数如膜厚、残余应力、磁各向异性、饱和磁化强度对薄膜应力阻抗效应的影响.实验上,采用DC磁控溅射法制备了FeCoSiB单层和FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层薄膜,并对薄膜进行磁场热处理,研究了不同工艺条件对薄膜应力阻抗效应的影响.本文还制备了"Cu(栅极型)/PI(聚酰亚胺绝缘层)/FeCoSiB(磁芯层)/TbFe<,2>(应力产生层)/基板"平面薄膜电感.
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