【摘 要】
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针对导光棱镜系统对滤光膜的特殊要求,依据膜系设计理论,选择合适的薄膜材料,分别设计了不同技术要求的高反膜和分光膜,满足了该光学系统在可见光波段P偏振光以25°角入射时,
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针对导光棱镜系统对滤光膜的特殊要求,依据膜系设计理论,选择合适的薄膜材料,分别设计了不同技术要求的高反膜和分光膜,满足了该光学系统在可见光波段P偏振光以25°角入射时,导光棱镜系统对光学性能的要求。在实际制备过程中,通过不断优化各项工艺参数,如温度、蒸发速率以及离子辅助沉积参数等,解决了光学薄膜膜层吸收问题。同时经多次反复试验研究,对制备过程中产生的误差进行分析修正,提高了膜层厚度的控制精度,最终成功制备出了450nm~650m波段范围内平均反射率高于99.5%的高反膜;450m~650nm波段范围内透射率与反射率之比分别为1:1和2:1的分光膜,且所研制出的高反膜与分光膜的误差精度均小于1%。由光谱曲线分析和环境测试结果表明,各项指标均满足使用要求。
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