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类金刚石(DLC)薄膜因其诸多独特的性能,包括高硬度、低摩擦系数、高电阻率、高热导率、良好的化学稳定性和突出的抗腐蚀能力等优点,已经在机械、信息技术、航空航天、光学和医学等方面得到了广泛应用。近来,DLC薄膜的复合化与多功能化逐渐成为研究热点。本文结合航空航天需要,旨在探索类金刚石基固体润滑复合薄膜的制备与性能表征。采用等离子体增强磁控溅射法成功制备了引入W_xC及WS_2颗粒的类金刚石基固体润滑复合薄膜。通过拉曼光谱仪、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、扫描电镜(能谱仪)