微细电化学加工技术利用金属在电解液中发生阳极溶解(阴极沉淀)的原理，将零件加工成型。以其无加工变形与应力、工具阴极无消耗、生产率高等优势，受到国内外诸多学者的广泛重视，在微细特种加工技术中占有重要位置。工具阴极是微细电化学加工技术的重要组成部分，工具阴极的尺度决定了微细电化学加工的精度，因此对微细电极制备工艺的研究具有重要意义。本文开展了微细电极加工技术的相关研究，主要研究内容如下：分析了微细电极加工中电极过程和双电层的形成机理，建立了微细电极制备的电化学等效电路模型，推导出电极电阻增量与电极半径关系的方程式，得到了微细电极制备过程中回路电流的变化规律，并将电流的理论计算值与实测值进行了对比，证明了理论公式的正确性。利用电化学蚀刻法制备出微细圆柱电极，通过实验得到了制备电极的重要实验参数(电压、电流、加工时间、电解液浓度)，并通过两组对比实验得到了在不同加工电压、不同电解液浓度下，电流和加工时间对电极形状、电极直径的影响规律。通过改进阴极结构，利用得到的实验参数制备出了直径为1μm、长度为8μm的超微细电极。针对超微细电极的实验特点，设计制作了超微弱电流检测控制装置，提高了超微细电极制备的成功率。采用制备出的微细均匀圆柱电极，在自制微细电解成形机床上进行了不锈钢材料的微孔电解加工实验。研究了加工电压、电解液浓度和进给速度对微孔加工精度的影响，结果表明减小加工电压、采用低浓度的电解液、提高进给速度可提高微孔的加工精度。