半圆形容器等离子体源离子注入鞘层动力学研究

来源 :辽宁师范大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户:L530798540
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
等离子体源离子注入(PSII)已经广泛应用于材料表面改性和半导体加工领域。在这一技术的实际应用过程中,等离子体鞘层的时空演化过程对等离子体与材料表面相互作用有着非常重要的意义。 本文利用两维流体动力学模型,包括描述离子的连续性方程、动量方程、电子玻耳兹曼分布,以及描述鞘层中电势分布的泊松方程,研究了等离子体鞘层中电势分布、离子密度分布、样品表面离子束流密度分布和离子注入剂量分布的时空演化规律。 针对半圆形容器,考察了在无附加电极和在球心放置零电位球形附加电极两种情况下的负高压脉冲等离子体鞘层的演化过程,研究了两种情况下各自的电势分布、容器表面离子束流密度和离子注入剂量分布以及这些分布的均匀性状况。结果表明,由于电场分布的弯曲导致离子运动的聚焦效应,使得离子束流和离子注入剂量在半圆形容器端点附近的表面上分布非常不均匀;而使用短的电压脉冲,附加电极的加入可以改善内表面离子注入的均匀性。这对于实际等离子体源离子注入应用具有重要的指导意义。 另外我们还分别考察了附加电极半径和容器壁厚对容器表面离子注入剂量的影响。结果显示,随着附加电极半径的增大,容器内表面的离子注入剂量逐渐减小;随着容器壁厚的逐渐增大,容器端点表面的离子注入剂量越来越小,内外表面离子注入剂量也略有减小。
其他文献
电池已经广泛为各行各业提供能源。其中,锂离子电池因具有高的能量储存密度、可忽略的记忆效应和较长的寿命等优点,被认为是最好的储能系统,且已经普遍应用于便携式电子产品中。近几年来,锂离子电池市场的产业结构发生着巨大的变化。电动汽车领域的应用突飞猛进,进一步带动锂电池的发展,新的锂电池产品不断涌现出来,使得锂离子电池的市场不断扩大。然而,到目前为止,除了在安全性和使用寿命上的要求不断提高外,锂离子电池能
学位
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
本文基于粗糙面散射理论,研究了粗糙面散射的多径效应及考虑遮蔽效应时的二阶基尔霍夫近似和蒙特卡罗法。给出了粗糙面多径散射模型,推导了单站和双站散射系数公式,分析了多径散射模型下不同谱分布时粗糙面的散射系数角分布情况,所得计算结果与实验测量数据一致;论文同时应用基尔霍夫近似理论导出了考虑遮蔽效应时一维、二维介质粗糙面的一阶和二阶非相干散射系数计算公式并进行了数值计算和讨论;最后应用蒙特卡罗法研究了考虑
四6月1日,刘伯承发布了关于积极发动群众开展游击战争的指示。6月6日深夜,李达将当天的综合情况向刘伯承作了汇报:“扫荡”太北的敌人近两天纷纷向太行周围交通线调动,在邯长
超等长训练自60年代末期被提出直到现在,在一些项目中已取得了较好的效果,但同时遭到一些人的批评,认为超等长训练对身体有伤害作用.尽管对超等长训练褒贬不一,但作为训练爆
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
解决SOI(Silicon on Insulator)器件的“自加热效应”,制备出具有高热导率的绝缘薄膜是科研工作者研究的一个重要方向。本文在综述了AlN薄膜的制备、应用和国内外研究现状的基础上,采用射频反应磁控溅射法在N型硅(100)衬底上制备了高热导率的AlN绝缘薄膜,研究了溅射参数对薄膜沉积速率的影响;研究了薄膜的抗电性能并对薄膜抗电性能的变化规律进行了理论分析,探讨了AlN薄膜介电常数低于
本论文第一章回顾了对称的概念,简单介绍了求非线性方程对称的三种常用方法及由对称如何对方程做对称性约化的三种常用方法。   第二章用形式级数对称方法研究一个新(2+1)
华亭少时,学李北海,又学米襄阳,于二家盘旋最久,故得李十之二三,得米十之六七。生平虽无所不临,而得力则在此。今后学董者,不得舍李米而竟取董也。盖以董学董终不是董。米中
内壳层激发态衰变过程是原子物理学中一个重要的研究方面,它广泛存在于实验室和天体等离子体中。对它的研究不仅能详细地提供原子(或离子)的内壳层电子的结构及其退激发过程的