声表面波传感器作为一种新型传感器,可以敏感很多种物理量,而且具有无源无线的特点,符合微机电一体化的发展趋势,应用领域广泛,有着很好的研究前景。论文根据无源无线谐振器型声表面波温度传感系统的特性,优化设计了谐振器型声表面波温度传感器组件,设计了声表面波温度传感系统的阅读器电路。论文研究了声表面波温度传感器的温度传感原理,根据压电基底的材料的切向和传播方向优化声表面波温度传感器的频率温度系数。根据无源无线声表面波温度传感系统的带宽、机电耦合系数和频率温度系数要求,选择石英材料制作声表面波温度传感器。使用矢量网络分析仪测试声表面波温度传感器芯片的中心频率。记录测量温度对应的频率值,绘制频率温度曲线,分析实际声表面波温度传感器的频率温度系数。论文研究了小型化螺旋天线,使用天线仿真专用软件HFSS仿真小型螺旋天线的各种结构参数,如螺旋线直径、螺距、铜丝的匝数、铜丝的直径。使用铜丝实际制作螺旋天线,使用矢量网络分析仪测试声表面波温度传感器组件的S11参数和驻波比,分析天线性能。根据声表面波温度传感器的特点,论文研究了无源无线声表面波温度传感系统阅读器电路,包括:发射链路、接收链路以及后级信号处理模块。发射链路由信号源电路、信号调制电路和功率放大电路组成。信号源电路的核心是一片程控PLL芯片,产生高频正弦信号,射频开关将高频正弦信号调制成间歇激励信号,然后功率放大电路将激励信号放大至额定发射功率,由天线发射。接收链路包括前置放大电路、混频电路、基带差分放大电路和ADC电路。声表面波温度传感器回波信号经射频开关在前置放大电路中调理滤波去噪,由混频电路将回波信号的频率降至中频,中频信号在基带差分放大电路放大调理之后,由ADC转换为数字信号。信号处理模块的任务是经中值滤波之后利用FFT算法分析回波信号频谱信息,利用频率温度公式解算出温度值。最后论文对课题的主要研究工作进行了归纳和总结,分析了论文设计中的存在不足之处并对以后的工作进行了展望。