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由FBAR组成的BAW滤波器能够满足目前高性能射频前端滤波的要求,是一种全新的射频滤波器解决方案。基于XX机构给出的技术指标,结合工艺约束条件,设计了一个满足各项指标的,中心频率为2.460 GHz,带宽为41MHz,带内插损为-1.154 d B,带内纹波为0.9 d B,带外抑制为-42.5d B@2.390 GHz;-45.5d B@2.500 GHz的S波段窄带带通BAW滤波器。所设计的滤波器的各项指标值均优于设计指标中的要求。设计的滤波器具有较低的带内插损、较高的带外抑制,能够满足当前S波段无线通信的应用。具体工作包括:在第三章中,通过调节电极/压电层厚度设计了一个具有较高k2eff,同时可以获得较小平面尺寸的FBAR各膜层厚度参数。通过电极变迹的方法设计了各FBAR形状,该方法能够抑制寄生模式,提高FBAR的Q值。在第四章中,使用Mason模型设计并优化得到了一个满足各项指标(带宽、中心频率、带外抑制和带内插损以及纹波)的S波段BAW滤波器的结构参数。并通过一个电感有效改善了BAW滤波器的带外抑制。在第五章中,设计并验证了一个BAW滤波器的布局结构。该布局结构能够减少寄生电感、寄生电容、欧姆损耗对BAW滤波器性能的影响。为了评估使用Mason模型设计的S波段BAW滤波器的性能,建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型。由于仿真得到的带内纹波不满足指标要求,因此重新设计了BAW滤波器的结构参数,直到成功通过声-电磁协同仿真模型的性能验证。根据该布局结构,设计了BAW滤波器的加工工艺流程以及光刻掩膜版图。主要创新点为:1.研究得到了“当电感串联在面积最大的并联FBAR支路,使用的电感值最小”的结论。2.提出并验证了一种BAW滤波器的布局准则及方法。3.建立了BAW滤波器的声-电磁协同仿真模型。