音圈电机()Voice Coil Motor是一种直接驱动的直线电机,其结构简单、体积小、力特性好,回避了传统丝杠传动中惯性大、机械滞后时间长等问题,使得它具有高频响、高运动加速度、高定位精度等优点,因此,在超精密加工、半导体键合等领域中被广泛应用。随着高精度双轴进给伺服系统数控加工技术的发展,鉴于音圈电机上述独特的优势,二维平台音圈电机驱动控制已成为当前研究的热点。　　本文在国家自然科学等基金的支持下,对二维平台的音圈电机驱动控制进行了深入研究,主要内容如下:　　1)提出了基于设定值前向补偿的创新型交叉耦合控制方法。所提出的新方法是在传统的基于轮廓误差分配模型交叉耦合控制方法的基础上,为克服传统控制方法跟踪精度难以进一步提高的缺点提出的。所提出的新型控制方法中的前向补偿功能在线预先修正了偏差,加快了误差修正速度,减小了两维运动之间互相影响,提高了系统的控制精度。对直线和圆曲线的跟踪结果表明,与改进前交叉耦合控制方法相比,新方法在抗干扰能力和跟踪能力方面,表现出良好的性能。　　2)设计了基于RBF神经网络的混合控制策略。由于基于设定值前向补偿的交叉耦合控制在实际操作中参数调整复杂且难以寻找到最优值,本文融合了基于设定值前向补偿的交叉耦合控制方法前向补偿的功能及神经网络自适应控制的优点,提出了基于RBF神经网络的混合控制方法。仿真结果表明,所提出的混合控制方法实现了神经网络在线调整并有效地提高了系统的定位精度。　　3)在二维实验平台上对音圈电机进行控制实验。将基于设定值前向补偿的交叉耦合控制方法和基于RBF神经网络的混合控制策略在平台上实现,并与传统的交叉耦合方法进行对比分析。实验结果表明,所提出的控制方法有效地提高了音圈电机的跟踪精度,满足实际应用的要求,验证了所提出控制方法的有效性。