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稳定精密的环境是纳米三坐标测量机(Nano-CMM)测量的前提。传统的恒温室存在成本高、耗能高、以及内部人员活动会影响温控稳定性等缺点。目前,根据绿色、微环境的理念为各类仪器定制合适的环境腔是主流做法,工业级恒温箱的压缩机振动强、控温精度低,而分离式恒温箱因其风机振动也无法满足微纳米测量的高要求。本文针对实验室已研制的Nano-CMM的测量需求,提出并研制了一套无振动低成本式的高精度微型环境箱。利用电子式半导体制冷片取代传统压缩机,并采用组合式箱体设计,避免分离式系统中风机带来的振动。考虑低成本及易