压电式无阀微泵振动分析及流场数值计算

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【摘要】

：

微流体技术(Microfluidics Technology)是指在微观尺寸下控制、操作和检测复杂流体的技术,是在微电子、微机械、生物工程和纳米技术基础上发展起来的一门全新交叉学科,其中微泵是微流体系统主要的基本组件之一。本论文主要对压电驱动无阀微泵进行了理论分析,建立了扩散管/收缩管模型的基本方程和压电驱动微泵薄膜变形模型,通过 ANSYS 软件模拟计算微泵膜片形变和无阀微泵三维流动流场。初

【作者】

：

杨林杰

【机构】

：

燕山大学

【发表日期】

：

2005年03期

【关键词】

：

MEMS 微流体无阀微泵压电驱动扩散管/收缩管有限元

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