BST热释电薄膜的缓冲层结构与性能研究

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【摘要】

：

钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,简称BST)是一种钙钛矿结构的铁电材料,具有高介电常数、低损耗、低漏电流密度、电压非线性强等优点,尤其该材料具有优良的热释电性能以及居里温度可随Ba/Sr比值自动调节等优点,因此是研制非制冷型红外探测器的优选材料。为了满足高性能非制冷红外焦平面阵列(UFPA)对BST薄膜材料性能的要求,本文开展了对具有缓冲层结构BST薄膜的射频(RF)溅射生长工艺与性能研究。在

【作者】

：

赵强

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2008年01期

【关键词】

：

BST 射频溅射缓冲层热释电系数非制冷焦平面阵列(UFPA)

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