利用直拉单晶法生产高质量单晶的主要因素取决单晶提拉过程的平稳性,因此良好的提拉系统是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。本文针对TDR型单晶炉提拉系统在运行当中出现的摆动现象以及摆动量检测技术进行了深入的研究,主要研究工作如下:建立了针对TDR型单晶炉提拉系统在离心激励和振动激励下定常摆的动力学模型,进行了详细的计算机仿真分析,通过分析发现将单晶炉提拉系统建立成振动激励下的单摆模型,再经过双摆对其修正,基本符合实际运动中的摆动现象,从而找出了引起提拉系统摆动的主要因素,为以后解决单晶炉提拉系统摆动现象提供了理论支持。结合先进的计算机视觉检测技术,针对单晶炉提拉系统摆动检测,应用摄像机标定、图像预处理、运动物体的提取与定位等理论,提出了单晶炉提拉系统视觉检测实验方案、开发出一套基于计算机视觉检测的实验系统,完成了检测系统软件设计。实验验证了所开发系统的可行性。