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块体非晶合金是一种新型的金属材料.该文以Zr<,41.2>Ti<,13.8>Cu<,12.5>Ni<,10>Be<,22.5>块体非晶合金为研究对象,研究了块体非晶合金过冷液相区超塑性反挤压的流变特点;分析了工艺参数对成形能力的影响,最终确定了最佳工艺参数.采用微成型模具进行非晶合金超塑性反挤压成形.分析了超塑成形后试样上部(微型件)与下部(基体)的热性能,非晶合金微型件位于反挤压的变形区;非晶基体下部则位于非变形区,结果表明,微型件的晶化分数高于基体下部.非晶微型件的峰值温度T<,p>以及晶化温度T<,r>总体上看比非晶基体下部DSC曲线的T<,p>以及T<,x>低,而二者的玻璃转变温度Th没有明显差别.采用非晶坯料对模具的充填高度h<,e>作为衡量非晶合金过冷液相区超塑成形能力的指标.以成形温度T<,e>、保压时间t<,e>及应力P<,e>作为三个工艺参数,当保持其中两个参数不变的条件下,增加第三个工艺参数的数值,非晶坯料对模具的充填高度、微型件硬度以及密度均有不同程度的增加.成形温度T<,e>越高,应力P<,e>越大,保压时间t<,e>越长,非晶微型件的晶化现象越严重.非晶合金在应力作用下产生塑性变形,应变能补偿了低于T<,x>温度下晶化所需要的热能,造成其晶化分数显著增加.分析表明,非晶合金超塑成形过程中,热弛豫与应变诱导弛豫互相作用,互相关联,二者共同构成非晶合金超塑成形的结构弛豫.超塑成形过程中非晶合金的自由体积的减少与热焓的变化的比例关系为:(△H)<,fv>=(251±30)kJ/mol.△v<,f>.块体非晶合金经超塑性变形后,其非晶相产生部分晶化反应,在非晶基体上析出纳米晶颗粒,并产生强化效应,造成超塑成形后非晶合金微型件硬度的增加.确定该文实验条件下的最佳工艺参数为:成形温度T<,e>=400℃、保压时间t<,e>=200s、应力P<,e>=254MPa,利用这些工艺参数可以获得单一非晶相的微型件.