尺寸小、精度高、性能优良的微型零件在电子、航空航天、汽车、生物医学和精密仪器等领域中有着广泛的用途,尤其在高温、高压、腐蚀等工作环境中,高性能的金属微型零件更是得到很好的应用。光刻工艺和电铸技术在制造具有优异机械和物理性能的高精度微型零件中具有显著的优点,近年来在制造领域发展迅速并有着广泛应用前景的3D打印技术也有望应用于微型零件模具的加工。而将具有优异性能的纳米材料石墨烯加入常规金属的基体中,则可以显著改善金属微型零件的性能。本文作者采用光刻工艺与3D打印技术制作微型零件模具,进行了纯金属镍材料和石墨烯/镍复合材料微型零件的电铸加工,制备出了轮廓形状较好的微型零件,并对零件的组织结构和多种性能进行了测试。本文的具体研究内容包括以下几个方面:1.研究并掌握了利用光刻工艺制备高质量SU-8胶模具的技术,并采用电铸技术加工出了纳米材料(石墨烯)/金属基(镍)复合材料微型零件。2.提出了运用3D打印技术制备微型零件模具的方案,并通过实验证明了其可行性。3.通过扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、原子力显微镜(AFM)与三维表面测量仪表征了不同石墨烯浓度电铸溶液制备出的微型零件的表面形貌及元素组成;使用拉曼显微镜表征了石墨烯/镍复合材料中石墨烯的存在;采用X射线衍射(XRD)对微型零件的晶粒尺寸与织构系数进行了估算;对所加工的微型零件的机械性能与导电性进行了测试。实验结果表明,石墨烯良好地分散在金属镍的基体中,石墨烯的存在会导致金属镍平均晶粒尺寸的减小,并导致其织构系数发生变化。但电铸液中过高的石墨烯浓度将会导致团聚现象的发生。与纯金属镍材料的微型零件相比,石墨烯/镍复合材料零件具有更好的机械性能与物理性能。由上可知,本论文的研究结果证明光刻技术、3D打印技术以及电铸技术可以用于制造形状复杂、性能优异的纳米/金属复合材料微型零件,并有望在工程中得到广泛应用。