近几年来半导体产业蓬勃发展,技术的飞速发展也对半导体晶圆代工厂提出的更高的要求,如何提高生产效率的问题就摆在了我们的眼前。自动物料搬送系统AMHS(Automatic Material Handling System)在半导体制造过程中将扮演非常重要的角色,当然AMHS应用不仅仅局限在半导体晶圆厂的应用,它适用很多领域,但范围最广的还是在半导体晶圆代工厂。之所以晶圆厂会大规模的采用AMHS,基本上是基于它可以快速准确的将Carrier搬送到目的地,较少wafer的idle time,减少MO(miss operation),提高生产效率。本人所在的公司是一家半导体晶圆代工企业,采用AMHS系统为半导体晶圆代工辅助生产。本人主要负责AMHS系统的管理和维护,有多年的系统分析经验。本文主要通过探讨AMHS系统当前在半导体晶圆代工厂中的应用,特别是对无尘室的布局,AMHS的结构,性能指标和影响因素的研究分析,针对不同的问题点结合实际工作中遇到的情况,提出理论改善并进行实际操作,统计对比前后的参数,达到提高改善的效果。本论文的长远意义在于,希望能协助AMHS系统的制造厂家以及AMHS系统的应用厂家在各自的生产过程中,能够从中获得一些启示,优化设计结构,在发生类似的问题的时候可以迅速的找到解决方向,而不必要走太多的弯路；或者可以根据论文的论述的影响因素,无论是从系统的设计阶段,到生产阶段,还是在客户端的使用情况,都可以采取一定的预防措施,从而可以使AMHS系统能够发挥更大的作用,提高整个晶圆代工厂的效率。